水廠臭氧發生器裝置采用臭氧預氧化，將臭氧加入預臭氧接觸池，主要殺滅藻類，提高絮凝效果，初步氧化分解水中大分子有機物和其他還原性物質，從而降低生物活性炭濾池的有機負荷；同時，臭氧氧化可以使水中難以生物降解的有機物斷鏈開環，轉化為簡單的脂肪烴，改變其生化特性，避免預氯化產生消毒副產物。
臭氧后接觸池加入臭氧主要用于氧化有機物(將大分子有機物變為小分子有機物，便于后續生物活性炭的吸附和降解)，殺滅細菌、病毒、病原體等。并為后續活性炭提供足夠的氧源。臭氧氧能有效氧化水中的、苯、硫化物、氯等有毒物質。水中的可溶性有機物可以被快速吸附，同時可以富集微生物。有了臭氧產生的充足的氧源，炭床中的微生物可以以有機物為營養物質大量生長繁殖，使活性炭吸附的小分子有機物得到充分的生物降解。
臭氧為混合氣體其濃度通常按質量比和體積比來表示。質量比是指單位體積內混合氣體中含有多少質量的臭氧，常用單位mg/L或g/m3等表示。體積比是指單位體積內臭氧所占的體積含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。衛生行業常用ppm表示臭氧濃度，即每立方臭氧混合氣體中臭氧占該體積的百萬分之一為1ppm。臭氧濃度是衡量臭氧發生器技術含量和性能的重要指標。同等的工況條件下臭氧輸出濃度越高其品質度就越高。
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